DISPOSITIFS ET PHYSIQUE DES MICROSYSTÈMES SUR SILICIUM
Présente les principales applications de ces microsystèmes. Ils sont classés, suivant le domaine d'énergie des signaux considérés, en tant que microdispositifs mécaniques, thermiques, magnétiques, chimiques ou de rayonnement.
Description
Présente les principales applications de ces microsystèmes. Ils sont classés, suivant le domaine d'énergie des signaux considérés, en tant que microdispositifs mécaniques, thermiques, magnétiques, chimiques ou de rayonnement.
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